1.適用于前道工序中對PI、PBO、BCB的烘烤； 

2.具備實際應用案例； 

3.具有成熟的烘烤工藝；例如：HD-8820工藝

4.溫度范圍（可選）：RT+30~200℃；  RT+35~500℃

5.氧含量：≤10ppm

6.潔凈度（可選）：10級 ；     100級

說明：以上資料技術信息，如有變動恕不另行通知。

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